使用真空泵过程中应注意什么

　　在使用真空泵时应注意这几点

　　1.真空泵用于泵送清洁气体，不能泵送有毒、易燃、易爆和腐蚀性气体或蒸汽、化学品、溶剂和粉末等。如易燃气体，含有国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸、强碱气体，或半导体技术中的高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易导致轴承故障。

　　2.进气温度必须低于50，否则必须在抽真空腔和泵入口之间增加一个冷阱，温度必须降低到50以下。

　　3.泵送含有水蒸气的气体时，打开压载阀进行泵送，泵送气体的水蒸气含量应在23g/天以下。如果超过这个极限，压载阀的寿命将会缩短。

　　4.真空泵不能在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽环境中工作，否则会有爆炸、火灾等危险。

　　5.不要一个人或两个人移动泵。搬运，的安装、配置、接线、操作、维护和检查应由专业人员进行，否则会有触电、伤害或损坏泵甚至真空室的危险。

　　6.不要继续使用损坏的泵，否则会有受伤、触电甚至损坏泵系统的危险。

　　7.检查以确保泵安全接地。

　　8.在工作过程中或泵刚关闭时，不要触摸泵电机或金属部件(因为工作时非常热，高温度可能达到70)。如果确实需要接触，采取必要的保护措施，防止受伤。

　　9.必须安装电机保护开关。

　　10.不要划伤进气口和出气口的法兰，以免损坏法兰，引起真空度上升。

　　11.在进气口安装一个截止阀。真空泵停止后，进气口的真空度降低，因为出气口的大气回到进气口，而不是真空泵。为了保证真空室的真空度，在真空室和泵之间应该安装一个截止阀。

　　12.在排气口连接排气管，防止灰尘进入泵内。